工業廢氣UV光氧凈化器利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而生成臭氧。 UV+O2mdash;O-+O*(活性氧)0+O2rarr;O,(臭氧),臭氧與呈游離狀態污染物質原子聚合，生成新的、無害或低害物質，如 CO2、H2O等，同時，臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有立竿見影的清除效果。
UV光氧凈化器設備中對有機揮發性廢氣首要進行光解與催化氧化。光解首要是通過高能UV紫外線對空氣中的氧氣發生分解作用，推進氧分子分化變成游離態的氧，因為游離態氧上的正負電子處于不平衡狀態，因而游離態氧極易與氧分子聯系生成臭氧，而臭氧的強氧化作用可以推進有機揮發性廢氣的分化。在UV高效設備內安裝著紫外線放電管，紫外線放電管發作的光子能量可以高達647KJ/mol、742KJ/mol，如此高的光子能可以迅速裂解小于該能量的有機揮發性廢氣的分子鍵，使其轉變為無機小分子物質。
在 UV 光氧催化氧化廢氣設備中增加納米級其他活性材料，將活性材料給予紫外線照耀，活性材料可以吸收大量的光能，于外表發生反應進而生成 h+(空穴)與e-(電子)，而空穴與電子所具有的氧化復原才能，可與氧、水發作反響，迅速生成具有極強氧化才能的-OH(氫氧根自由基)與O2(超級陰氧離子)。OH 氧化電位適當高，可以氧化有機揮發性廢氣中的電子，推進無光吸收才能物質的氧化分化。研討發現，在紫外光的能量以及納米活性催化氧催化作用下，有機揮發性廢氣在短短 2-3 秒的時刻內就可以被充分分化。光氧催化技能是在外界可見光的作用下發作催化作用，以半導體及空氣為催化劑，以光為能量，將有機物降解為 CO2,和 H2O 及其它無毒無害成份，廢臭氣體通過處理后可到達凈化的更理想的作用。因為在光催化氧化反響過程中無任何增加劑，所以不會發作二次污染，運轉本錢方面僅僅用到電能，無需常常替換配件，對于公司、企業來說使用上是適當的節能環保。